KYKY Xitoyda Turbo molekulyar nasos, tijorat geliy oqish detektori va skanerlash elektron mikroskopining birinchi to'plamini ixtiro qildi.
1970 -yillarda KYKY, SEM filiali KYKY Xitoyda birinchi skanerlash elektron mikroskopini muvaffaqiyatli ishlab chiqdi.
SEM namunasini tayyorlash uchun püskürtücü qoplama, namuna oldindan qayta ishlash.
O'rta gaz: havo yoki argon, argonli kirish va havo inflyatsiyali mikrodastur. Masalan, moslashtirilgan (qoplama qalinligi o'lchagich bilan jihozlangan)
Afzalliklari:
kichik o'lchamli; foydalanuvchilar uchun qulay operatsiya; metall nishonlarning ko'pchiligiga moslashtirilgan; Argon rejimi mavjud.
Xususiyatlar:
Ish kamerasining diametri: | 75-150 mm |
Vakuum tizimi | Evakuatsiya uchun aylanadigan nasos, 2L/s |
Depozit stavkasi: | 2-10 nm/min |
Quvvat: | 220V/50Hz |
Shisha ishlov berish kamerasi | ∮100 mm; 130 mm balandlikda. |
Namuna bosqichining o'lchami: | ∮40 mm (6 ta namunali stakanni ushlab turing) |
Oltin nishon o'lchami: | 58mm*0.12mm (qalinligi) |
Vakuumni aniqlash: | Pirani gage |
Vakuumli himoya: | Mikro o'lchovli inflyatsiya klapanli 20 pa |
O'rta gaz: | Argo yoki havo argonli gaz bilan maxsus havo kirishi va mikroskalada tartibga soluvchi gaz. |
Ilovalar:
Elektronni skanerlash uchun oldindan tayyorlangan namuna (chayqalishga qodir, oltin, kumush, mis, titan va alyuminiy.)