Magnit levitatsiyali nasos, CXF-200/1401E, suvni sovutish, bortda
Magnit -levitlangan molekulyar nasoslar - bu nasoslar magnit kuch ta'sirida quvvatlanadi.
Magnit -levitlangan ketma -ket molekulyar nasoslar KYKY kompaniyasi tomonidan ishlab chiqarilgan zamonaviy yarimo'tkazgichli ishlab chiqarish, chip ishlab chiqarish, sanoat qoplamasi va ilmiy asboblar talablariga javob beradigan vakuum ishlab chiqaruvchi uskunadir.
Texnologiyalar:
- Magnit rulmanlarni boshqarish texnologiyasi: Qabul qilingan elektromagnit 5 o'qli magnitlangan. Ushbu dizayn yuqori tezlikda o'ralishning barqaror ustunli va ishonchli ishlashi kabi muhim afzalliklarini kafolatlash uchun ilg'or xalqaro boshqaruv nazariyasiga asoslangan dinamik yopiq elektronli magnit to'xtatib turishni boshqarish texnologiyasi yordamida dinamik javob berishi va o'z vaqtida sozlanishi mumkin.
- Dvigatelni boshqarish texnologiyasi: Yuqori samarali yuqori tezlikli doimiy dvigatel va servo boshqaruv tizimi ketma-ket magnitlangan nasoslarga qo'llaniladi, shuning uchun dvigatelning maksimal energiyasiga ega bo'lish va aylanish tezligini avtomatik ravishda kompensatsiya qilish, shu bilan barqaror ishga tushirish, ishonchli ishlash va avtomatik sozlash. dinamik energiya funktsiyasi.
- Karbon tolali kompozit rotor texnologiyasi: Seriyali magnit suspenziyali molekulyar nasoslarning turbo rotorlari yuqori quvvatli alyuminiy qotishmasi va engil uglerodli tolalarni birlashtirish orqali ishlab chiqariladi. Barcha alyuminiy qotishma rotorlari bilan taqqoslaganda, turbo rotorlar og'irlikning keskin pasayishi va mustahkamligining yaxshilanishi bilan ajralib turadi, shuning uchun yuqori aylanish tezligi, yuqori ishlashi va yuqori ishonchliligi maqsadlariga erishiladi.
- Korroziyaga qarshi texnologiya: Seriyali magnit suspenziyali molekulyar nasoslar kameralaridagi qismlar yuzasi maxsus ishlov berish bilan ishlov beriladi, shunda sirtlar yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayonlarida korroziy gazlar korroziyasiga qarshi tura oladi. Bundan tashqari, N2 kabi inert gazlar, nasoslarning past vakuumli qismlarini himoya qilish uchun, nasoslarning shaftida to'liq to'ldiriladi, shuning uchun korroziv gazlarni uzoq vaqt davomida doimiy ravishda charchatadi.
- Isitish haroratini nazorat qilish tizimi: Magnit-levitlangan ketma-ket molekulyar nasoslar elektr isitgich va haroratni nazorat qilish moslamasi bilan jihozlangan, shuning uchun sovutish suvi, havoni suyak bilan isitish, elektr isitish va himoya gazlar orqali olib o'tiladigan issiqlik ish paytida kuzatilishi va nazorat qilinishi mumkin, nasoslardagi harorat saqlanishi mumkin. uzoq vaqt davomida ba'zi qiymatlar, ba'zi gazli moddalar normal haroratda qattiq moddalarga aylantirilmaydi va nasoslarga yotqizilmaydi va maxsus ishlov berish jarayoniga qo'yiladigan talablar bajarilishi mumkin.
Afzalliklar:
1. Ish paytida nol ishqalanish va kam quvvat sarfi
2. Nasoslar uchun moylamasdan yuqori toza vakuum va yuqori vakuumni olish oson
3. Korroziv gazlarni uzoq muddatga chiqarish imkoniyati
4. Rulmanlarni nozik keramik to'plardan himoya qilish tufayli yuqori xavfsizlik va uzoq umr ko'rish
5. to'satdan o'chirilganda quvvat ishlab chiqarish funktsiyasi
Xususiyatlar:
| Model | CXF-200/1401E |
| Nasos tezligi (l/s, havo) | 1400 |
| Siqilish nisbati | > 1 × 107 |
| Yuqori vakuum (Pa) | ≤2 × 10-6 |
| Kirish gardishi | DN200 ISO F |
| DN200 ISO CF | |
| Chiqish gardishi | KF 40 |
| Aylanish tezligi (rpm) | 33000 |
| Ish vaqti (min) | 6 |
| VIB (mm) | <0,05 |
| Qo'llab -quvvatlash nasosi (L/s) | 15 |
| O'rnatish yoki o'tish | Har qanday |
| Sovutish usuli | Suv |
| Og'irligi (kg) (nazoratchi bilan) | 51 |
Ilovalar:
Magnit -levitlangan ketma -ket molekulyar nasoslar asosan yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish, qisqich ishlab chiqarish, sanoat qoplamalar va ilmiy asboblar sohalarida, ayniqsa, etch, CVD, PVD va ion implantatsiyasida mavjud bo'lgan korroziv gazlar va normal haroratda oson pıhtılaşan gazlar uchun qo'llaniladi.