Magnit levitatsiyali nasos, CXF-320/3001E, suvni sovutish, ISO-F, bortda
Magnit -levitlangan molekulyar nasoslar - bu nasoslar magnit kuch ta'sirida quvvatlanadi.
Magnit -levitlangan ketma -ket molekulyar nasoslar KYKY kompaniyasi tomonidan ishlab chiqarilgan zamonaviy yarimo'tkazgichli ishlab chiqarish, chip ishlab chiqarish, sanoat qoplamasi va ilmiy asboblar talablariga javob beradigan vakuum ishlab chiqaruvchi uskunadir.
Afzalliklari:
1. Ish paytida nol ishqalanish va kam quvvat sarfi
2. Nasoslar uchun moylamasdan, chindan ham toza yuqori vakuumli va juda yuqori vakuumli sotib olish oson
3. Korroziv gazlarni uzoq muddat chiqarib olish imkoniyati
4. Rulmanlarning nozik keramik to'plari bilan himoyalanganligi tufayli yuqori xavfsizlik va uzoq xizmat muddati
5. to'satdan o'chirilgan taqdirda quvvat ishlab chiqarish funktsiyasi
6. Ishqalanishsiz
7. Ifloslanishdan xoli
8. Xizmat ko'rsatish bepul
9. Past tebranish
10. har qanday yo'nalishda o'rnatiladi.
Ilovalar:
Magnit -levitlangan ketma -ket molekulyar nasoslar asosan yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish, qisqich ishlab chiqarish, sanoat qoplamalar va ilmiy asboblar sohalarida, ayniqsa, etch, CVD, PVD va ion implantatsiyasida mavjud bo'lgan korroziv gazlar va normal haroratda oson pıhtılaşan gazlar uchun qo'llaniladi.
Xususiyatlar:
| Model | CXF-320/3001E |
| Nasos tezligi (l/s, havo) | 3200 |
| Siqilish nisbati | > 1 × 108 |
| Yuqori vakuum (Pa) | ≤5 × 10-7 |
| Kirish gardishi | ISO-F 320 |
| Chiqish gardishi | KF 40 |
| Aylanish tezligi (rpm) | 24000 |
| Ish vaqti (min) | 12 |
| VIB (mm) | <0,05 |
| Qo'llab -quvvatlash nasosi (L/s) | 15 |
| O'rnatish yoki o'tish | Har qanday |
| Sovutish usuli | Suv |
| Og'irligi (kg) (nazoratchi bilan) | 75 |
Texnologiyalar:
- Magnit rulmanlarni boshqarish texnologiyasi: 5-o'qli magnitlangan, yuqori darajadagi xalqaro nazorat nazariyasiga asoslangan, yuqori tezlikda siljishning barqaror levitatsiyali va ishonchli ishlashi kabi muhim afzalliklarini kafolatlash uchun.
- Dvigatelni boshqarish texnologiyasi: Dvigatelning maksimal energiyasiga ega bo'lgan va tez aylanish tezligini avtomatik ravishda qoplaydigan, shu bilan barqaror ishga tushirish, ishonchli ishlash va dinamik energiyani avtomatik tartibga solish funktsiyasini amalga oshiradigan yuqori samarali yuqori tezlikli doimiy dvigatel va servo boshqaruv tizimi.
- Karbon tolali kompozit rotor texnologiyasi: Yuqori quvvatli alyuminiy qotishmasi va engil uglerod tolasi birikmasidan qilingan. og'irlikning keskin kamayishi va kuchning yaxshilanishi bilan tavsiflanadi, shuning uchun yuqori aylanish tezligi, yuqori ishlash va yuqori ishonchlilik maqsadlariga erishiladi.
- Korroziyaga qarshi texnologiya: Kameralardagi qismlar yuzasi maxsus ishlov berish bilan ishlov beriladi, shuning uchun sirtlar yarimo'tkazgich ishlab chiqarish jarayonlarida korroziy gazlar ta'sirida korroziyaga qarshi tura oladi. Bundan tashqari, N2 kabi inert gazlar, nasoslarning past vakuumli qismlarini himoya qilish uchun nasoslarning shaftida to'liq to'ldiriladi, shuning uchun korroziv gazlarni uzoq vaqt davomida barqaror ravishda charchatadi.
- Isitish haroratini nazorat qilish tizimi: elektr isitgich va haroratni nazorat qilish moslamasi bilan jihozlangan, sovutish suvi, havoni suyakdan isitish, elektr isitish va himoya gazlar orqali olib o'tiladigan issiqlik ish paytida kuzatilishi va nazorat qilinishi mumkin, nasoslardagi haroratni uzoq vaqt, ba'zi gazsimon darajada ushlab turish mumkin. moddalar normal haroratda qattiq moddalarga aylantirilmaydi va nasoslarga yotqizilmaydi va maxsus ishlov berish jarayoniga qo'yiladigan talablar bajarilishi mumkin.