Bu EM8000-ning yangilangan versiyasi, E-Beam naychasining tezlashuvi, vakuum rejimining o'zgaruvchanligi, past kuchlanishli o'tkazuvchan bo'lmagan namunani chayqalishsiz kuzatish uchun, oson, qulay va do'stona ishlash tizimi, bir nechta kengaytmali ta'mirlash rejasi. Bu, shuningdek, 1nm (30kV) piksellar soniga ega bo'lgan birinchi FEG SEM.
Afzalliklari:
1, Schittky elektron tabancasi, yuqori yorqinlik, yaxshi monoxromatiklik, kichik nurli nuqta, uzoq umr.
2, E-nurli naychaning tezlashuvi bilan, ixtiyoriy bosqich sekinlashuvi
3, barqaror nur oqimi, past energiya tarqalishi
4, o'tkazuvchan bo'lmagan namuna past kuchlanishli chayqalmasdan kuzatiladi
5, oson, qulay va do'stona ishlash interfeysi
6, ulkan 5 o'qli motorli bosqich
Xususiyatlar:
Konfiguratsiya | |
Ruxsat | 1km@30kV (SE) |
3nm@1Kv (SE) | |
2.5nm@30kV (BSE) | |
Kattalashtirish | 15x-800,000x |
Tezlashtiruvchi kuchlanish | 0-30kV doimiy va sozlanishi |
Elektron qurol | Schottky dala emissiya quroli |
Katod emitenti | Volfram mono-kristalli |
Besh o'qli evansentrik avtoulov bosqichi | X: 0 ~ 150 mm |
Y: 0 ~ 150 mm | |
Z: 0 ~ 60 mm | |
R: 360 ° | |
T: -5 °~75 ° | |
Maks namunasi | 320 mm |
L*W*H | 342mm*324mm*320mm (ichki kameraning o'lchami) |